MEMS微振鏡C1100/C1130/C2110/C2120+ 更多
MEMS微振鏡
C1100/C1130/C2110/C2120
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MEMS微振鏡是一款將可動結構芯片化的光學器件,可取代傳統電機,實現激光光束的高速、動態掃描。MEMS微振鏡由單晶硅加工制成,具有可靠性高、體積小、重量輕、易批量化等特點。知微傳感提供的MEMS微振鏡鏡面尺寸為1mm-3mm,鏡面鍍金,對紅外光有較好的反射率,目前已廣泛應用于激光雷達、機器視覺、激光打印等應用場景。
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型號 | C1100 | C1130 | C2110 | C2120 |
軸數
| 單軸 | 單軸 | 雙軸 | 雙軸 |
鏡面直徑 | 1.3mm | 3mm | 1mm | 1mm |
頻率 | 5.8kHz±10% | 1.15kHz±10% | 快軸:13kHz±10% 慢軸:1.2kHz±10% | 快軸:25kHz±10% 慢軸:2.3kHz±10% |
光學掃描角 | ±30° | ±30° | ±30° | ±30° |
鏡面鍍膜 | 金 | 金 | 金 | 金 |