MEMS微振鏡
C1100/C1130/C2110/C2120

MEMS微振鏡是一款將可動結構芯片化的光學器件,可取代傳統電機,實現激光光束的高速、動態掃描。MEMS微振鏡由單晶硅加工制成,具有可靠性高、體積小、重量輕、易批量化等特點。知微傳感提供的MEMS微振鏡鏡面尺寸為1mm-3mm,鏡面鍍金,對紅外光有較好的反射率,目前已廣泛應用于激光雷達、機器視覺、激光打印等應用場景。
振鏡
芯片

基本特征

知微傳感研制的MEMS微振鏡為靜電驅動諧振式微振鏡,具有體積小、重量輕,功耗低,壽命長,成本低等特點。
2_22_6

體積小,重量輕

藍_9_9藍_9

功耗低

2_32_7

壽命長,可靠性高

2_42_8

易批量化,成本低

應用領域
振鏡-02
機器視覺
振鏡-03
激光雷達
振鏡-04
激光投影
振鏡-05-05
影像醫療

產品參數

微振鏡




型號
C1100
C1130
C2110
C2120
軸數
單軸
單軸
雙軸
雙軸
鏡面直徑
1.3mm
3mm
1mm
1mm
頻率
5.8kHz±10%
1.15kHz±10%
快軸:13kHz±10%
 慢軸:1.2kHz±10%
 快軸:25kHz±10%
  慢軸:2.3kHz±10%
光學掃描角
±30°
±30°
±30°
±30°
鏡面鍍膜